• 仪器用途

TM-320多用途精密测量显微镜可用于半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、精密机械加工、橡塑材料等领域的精密测量，也可作为高级金相显微镜用于金相材料观察和分析。仪器自带偏光装置兼具高级偏光显微镜功能，适合于工厂、研究所、大专院校等用于产品检测、观察和分析。仪器符合人机工程学要求的设计，使您在工作中感到舒适和放松。

• 仪器规格

（一）测量范围：           X: 300mm; Y: 200mm

（二）数显分辨率：         0.0005mm

（三）工作台尺寸：    500×350mm  (玻璃台面尺寸：356×262mm)

（四）仪器测量准确度：     ≤（3+L/75）um （L为被测长度）

（五）仪器的质量：         100kg

（六）仪器外形尺寸：       560×820×670mm

（七）输入电压：           AC220/50Hz ±10%

（八）光学基本参数

1、光学系统：无限远光学系统，镜筒透镜f=200mm

2、观察镜筒：正像，人性化三目，观察角度0°～45°可调

3、物镜：95mm平场无限远长工作距离复消色差物镜M Plan Apo

4、物镜转换器：大四孔物镜转换器

5、偏光装置：检偏镜可360°转动。起偏镜、检偏镜均可移出光路

（九）照明光源

1.反射照明：  柯勒照明（带孔径光栏和视场光栏），卤素灯12V50W，光强度连续可调

2.透射照明：  远心照明，卤素灯12V50W，光强度连续可调

3.斜射照明：  12V，50W （双卤钨灯、光强度连续可调）（选购件）

（十）CCD接口

采用标准C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量