107JE 精密测量显微镜
产品描述
107JE精密测量显微镜
- 仪器用途
107JE型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器,仪器主要采用透、反射照明方式,通过观察和数显系统对精密件的几何量(长度、角度)进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件(如钟表零件)及其他精密件几何参数的测量。
仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。
- 仪器规格
(一)测量范围 X:
(二)工作台尺寸: 355×
(三)数显分辨率:
(四)仪器的回程误差:
(五)仪器测量准确度: ≤(3+L/75)um(L为被测长度)
(六)仪器的质量:
(七)仪器外形尺寸: 420×550×
(八)输入电压: AC220/50Hz ±10%(工作照明电压5V/LED)
(九)光学基本参数 无限远光学系统(正像)
物镜(长工作距离平场物镜) |
目镜 |
总放大倍数 |
视场直径(mm) |
||
放大倍数 数值孔径 |
工作距离(mm) |
放大倍数 |
视场直径(mm) |
||
5×/0.15 |
14.47 |
10× |
25 |
50× |
34 |
10×/0.25 |
16.01 |
镜筒 |
100× |
17 |
|
20×/0.40 |
10.5 |
三目镜筒:倾角30°,瞳距和屈光度可调 ,0.5X CCD适配镜(C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量) |
200× |
8.5 |
|
50×/0.55 |
5.1 |
500× |
3.5 |
(十)照明光源
1.反射照明: 5V, 3W (LED可调光)
2.透射照明: 5V, 1W (LED可调光)
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